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日本takano 晶圆表面检测设备WM系列的产品介绍

更新时间：2024-08-08      浏览次数：38

WM系列规格

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无图案300mm晶圆表面检测系统

WM-10R是300mm晶圆的标准型号

是48nm的高灵敏度检测系统。

WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.





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2.png200mm以下无图案晶圆表面检测系统


WM-7系列是200毫米晶圆尺寸以下最的合理的高性能型号。

WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.






1. 独的创高灵敏度光学系统

  • WM-10R 有 2 轴粒子入射角。

  • WM 系列有 2 个宽数值孔径镜头，用于高灵敏度检测。

2. 高分辨率 XY 位置螺旋扫描

  • WM系列是带转速控制的螺旋扫描方式。

  • XY-数据发送到 EB 审查设备，然后可以通过轻松对齐进行审查。


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