波兰prevac基本质谱系统032 PRIMS的产品介绍

更新时间：2024-08-27

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简单且功能齐全的溅射沉积装置，用于可重复的薄膜层应用。即插即用的紧凑设计。

工艺室包含3个磁控溅射源端口（用于金属和无机物），采用溅射向下配置安装。最多可同时使用两个源（共沉积）基底台适用于直径最大2英寸的样品，具有加热和旋转选项。

特征

1.即插即用结构

2.易于使用的移动装置，可快速测试和溅射涂层

3.处理室配有大型真空门，方便更换靶材或基材

4.配备MS2 100 ISO-K 磁控管源和新型M600DC-PS 电源

5.可承载直径达 2英寸样品的基片台

6.加工室直径：Ø 355 毫米

7.3 个2 英寸磁控管源端口

8.1 个视口 – 带百叶窗的观察窗

9.防止交叉污染的保护屏障

10.基准压力范围 10 -7 mbar

11.带真空计的快速抽气系统

12.通过质量流量控制自动计量氩气

描述

快速泵送系统（带有手动节流阀）与小容量的工艺室相结合，使您能够在短时间内达到基准压力。

工艺室配备HV标准的连接法兰，用于连接现有和未来的设备，包括：最多 3 个2” 磁控管源，基板操纵器，泵送系统m,防止交叉污染的保护盾，石英天平，视口 - 带百叶窗的观察窗，真空计，高温计。

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