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美国Laurell ø200mm旋涂机

美国Laurell ø200mm旋涂机 WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂机 结构紧凑，功能。 这款 650 系列涂布机系统可容纳直径达ø 200 毫米的晶圆和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大转速为12,000 RPM（基于直径ø 100 毫米的硅晶圆）。

  • 产品型号：WS-650-8B
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2024-09-02
  • 访  问  量：87
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 美国Laurell ?200mm旋涂机 WS-650-8B 

Laurell WS- 650-8 B 旋涂机 结构紧凑，功能。 这款 650 系列涂布机系统可容纳直径达? 200 毫米的晶圆和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大转速为12,000 RPM（基于直径? 100 毫米的硅晶圆）。

Laurell 独的特的内部碗状设计消除了溅回现象，因此无需安装“溅水环"。我们的排气排水适配器配有可拆卸储水箱，既实用又方便。

封闭式碗状设计，加上过程控制器的精确性，可使大多数涂层材料在静止状态下干燥，从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭，以提供重叠密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，用于将流体引导到系统后部，以防止化学品意外滴落到基材上。

 美国Laurell ?200mm旋涂机 WS-650-8B 

Laurell WS- 650-8 B 旋涂机 结构紧凑，功能。 这款 650 系列涂布机系统可容纳直径达? 200 毫米的晶圆和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板，最大转速为12,000 RPM（基于直径? 100 毫米的硅晶圆）。

Laurell 独的特的内部碗状设计消除了溅回现象，因此无需安装“溅水环"。我们的排气排水适配器配有可拆卸储水箱，既实用又方便。

封闭式碗状设计，加上过程控制器的精确性，可使大多数涂层材料在静止状态下干燥，从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭，以提供重叠密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，用于将流体引导到系统后部，以防止化学品意外滴落到基材上。


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