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美国Laurell ø300mm旋涂机

美国Laurell ø300mm旋涂机H6-15
劳雷尔 H6-15?旋涂机 结构紧凑，功能，是安装在手套箱中最的简单的旋涂机。 这款 650 系列HL涂布机系统可容纳直径最的大为ø 300mm 的晶圆和 9“ × 9“ (229mm × 229mm) 的基板，最的大转速为12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圆）。

  • 产品型号：H6-15
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2024-09-02
  • 访  问  量：94
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美国Laurell  ?300mm旋涂机H6-15

劳雷尔 H6-15旋涂机 结构紧凑，功能，是安装在手套箱中最的简单的旋涂机。 这款 650 系列HL涂布机系统可容纳直径最的大为? 300mm 的晶圆和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板，最的大转速为12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圆）。

封闭式碗状设计，加上过程控制器的精确性，可使大多数涂层材料在静止状态下干燥，从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭，以提供重叠密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，用于将流体引导到系统后部，以防止化学品意外滴落到基材上。

美国Laurell  ?300mm旋涂机H6-15

劳雷尔 H6-15旋涂机 结构紧凑，功能，是安装在手套箱中最的简单的旋涂机。 这款 650 系列HL涂布机系统可容纳直径最的大为? 300mm 的晶圆和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板，最的大转速为12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圆）。

封闭式碗状设计，加上过程控制器的精确性，可使大多数涂层材料在静止状态下干燥，从而提高均匀性并最的大程度地减少颗粒污染。上部集气室在底座内部关闭，以提供重叠密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，用于将流体引导到系统后部，以防止化学品意外滴落到基材上。


美国Laurell ?300mm旋涂机


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